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不同真空爐工藝對真空爐石墨制品的功能要求差異明顯

在真空爐規(guī)劃中，石墨爐床板的安全裕量（Safety Margin）需概括考慮機械強度、熱應(yīng)力、化學穩(wěn)定性 和 長期執(zhí)役可靠性 。

在真空爐中，石墨聯(lián)接片（用于電極、加熱棒或結(jié)構(gòu)件之間的導電/傳力聯(lián)接）的工作壓力規(guī)劃需一同考慮 電氣性能、機械強度、熱膨脹匹配 和 真空環(huán)境適應(yīng)性 。

在真空爐中，石墨立柱不只作為結(jié)構(gòu)支撐件，還可通過合理規(guī)劃結(jié)束高效加熱功用（如作為加熱元件或輔佐熱源）。

密度與孔隙率：選用阿基米德法測定密度，孔隙率需低于5%。

等靜壓成型：用于出產(chǎn)高密度（≥1.85g/cm3）石墨件，保證資料內(nèi)部無氣孔、結(jié)構(gòu)均勻。

石墨純度需達到99.9%以上，要害部件（如加熱元件）甚至要求99.99%以上的超高純度，以防止雜質(zhì)在高溫下蒸發(fā)污染工件。例如，半導體單晶硅生長爐中，石墨坩堝的金屬雜質(zhì)（如Fe、Ni）含量有必要低于10ppm。