真空爐的作業(yè)環(huán)境（高溫、低氣壓、潔凈要求）對材料是“終極檢測”，而石墨制品的3大特性完美適配：
耐超高溫+標準安穩(wěn)，金屬和陶瓷都“認輸”
真空爐的工藝溫度常達1200-2000℃，金屬發(fā)熱體（如鉬、鎢）在1600℃以上會軟化變形，陶瓷載具（如氧化鋁）在急冷急熱時會炸裂，而高純石墨（固定碳≥99.9%）在2800℃以下功能安穩(wěn)，熱膨脹系數(shù)僅 是金屬的1/10。某航空材料廠的測試顯示，石墨發(fā)熱體在1800℃真空環(huán)境下接連作業(yè)100小時，電阻改變率僅2%，而鎢絲發(fā)熱體達15%。
化學(xué)慵懶強，不污染工件，潔凈度達 “半導(dǎo)體級”
真空環(huán)境下，材料的蒸發(fā)物會直接污染工件（如硅片外表若有0.1μm 雜質(zhì)，就或許導(dǎo)致芯片失效）。石墨在1600℃以下的蒸發(fā)率＜0.01%，且不與金屬、半導(dǎo)體材料反應(yīng)（如不與硅、鈦、鎳產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)）。而陶瓷中的氧化物（如 Al2O2）或許釋放氧原子，金屬則會蒸發(fā)產(chǎn)生金屬粉塵，均無法滿意半導(dǎo)體級潔凈度要求。
導(dǎo)電導(dǎo)熱可控，適配多樣化工藝需求
石墨的電阻率可通過純度調(diào)整，既能做發(fā)熱體（低電阻），又能做絕緣載具（外表氮化處理后絕緣）；導(dǎo)熱系數(shù)是陶瓷的5-10倍（150-200W/m2K），能讓工件受熱均勻（溫差≤5℃），這是真空燒結(jié)中確保產(chǎn)品一致性的要害。
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